-
Onderdil Keramik Cincin Keramik Presisi Tinggi Alumina
Diwangun kanthi cara dipres isostatik adhem lan disinter ing suhu dhuwur, banjur dimesin lan dipoles kanthi presisi, suku cadang keramik iki bisa nyukupi syarat ketat peralatan semikonduktor kanthi fitur tahan aus, tahan korosi, ekspansi termal sing endhek, lan insulasi. Keramik bisa digunakake ing macem-macem jinis peralatan produksi semikonduktor kanthi kondisi suhu dhuwur, vakum utawa gas korosif sajrone wektu sing suwe.
Digawé saka bubuk alumina kanthi kemurnian dhuwur, diproses kanthi pengepresan isostatik adhem, sintering suhu dhuwur lan finishing presisi, bisa tekan toleransi dimensi nganti ±0,001 mm, permukaan Ra 0,1, tahan suhu 1600 ℃.
-
Chuck Keramik Peralatan Semikonduktor Khusus ST.CERA
Diwangun kanthi cara dipres isostatik adhem lan disinter ing suhu dhuwur, banjur dimesin lan dipoles kanthi presisi, suku cadang keramik iki bisa nyukupi syarat ketat peralatan semikonduktor kanthi fitur tahan aus, tahan korosi, ekspansi termal sing endhek, lan insulasi. Keramik bisa digunakake ing macem-macem jinis peralatan produksi semikonduktor kanthi kondisi suhu dhuwur, vakum utawa gas korosif sajrone wektu sing suwe.
Digawé saka bubuk alumina kanthi kemurnian dhuwur, diproses kanthi pengepresan isostatik adhem, sintering suhu dhuwur lan finishing presisi, bisa tekan toleransi dimensi nganti ±0,001 mm, permukaan Ra 0,1, tahan suhu 1600 ℃.
-
Efektor Ujung Keramik Silikon Karbida (SiC) – Kekakuan Tinggi kanggo Penanganan Wafer Suhu Tinggi
Efektor ujung keramik SiC St.Cera digawe saka silikon karbida kemurnian tinggi (kandungan SiC 99,72%, Si bebas 0,05%) nggunakake bahan batch S1111. Efektor iki nawakake sifat mekanik sing luar biasa: kekuatan lentur 449 MPa (diukur), modulus elastis 457 GPa (diukur), lan kekerasan Vickers 25–28 GPa (khas). Kapadhetan sing endhek (3,10–3,15 g/cm³, khas) nyedhiyakake kekakuan spesifik sing dhuwur, cocog kanggo robot transfer wafer kecepatan tinggi. Kanthi konduktivitas termal 120–150 W/m·K (khas) lan koefisien ekspansi termal 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (khas), efektor ujung iki kanthi efektif mbuwang panas lan njaga stabilitas dimensi sajrone penanganan suhu tinggi (nganti 1600–1700°C, tanpa beban). Werna ireng/abu-abu lan penyerapan banyu nol njamin kompatibilitas kamar bersih.
-
Chuck Vakum Berbasis Silikon Karbida (SiC) kanggo Lingkungan Suhu Tinggi & Plasma
Chuck keramik berbasis SiC saka St.Cera digawe saka silikon karbida kemurnian tinggi (batch S1111, SiC 99,72%, Si bebas 0,05%). Chuck iki ngasilake kekuatan lentur sing diukur yaiku 449 MPa, ketangguhan patah 3,12 MPa·m¹/², lan modulus elastis 457 GPa. Konduktivitas termal khas bahan iki (120–150 W/m·K) lan ekspansi termal sing endhek (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) nggampangake kenaikan suhu kanthi cepet lan warpage wafer minimal sajrone siklus termal. Chuck iki bisa dikonfigurasi minangka chuck vakum berpori (aliran gas seragam) utawa chuck standar beralur. Kanthi suhu panggunaan maksimal 1600–1700°C (tanpa beban) lan tahan erosi plasma sing luar biasa, chuck iki cocog kanggo pangolahan wafer suhu dhuwur (annealing, RTP) lan ruang etsa agresif ing ngendi chuck alumina rusak.
-
Peralatan Semikonduktor Suku Cadang Keramik Pembawa Keramik
Diwangun kanthi cara dipres isostatik adhem lan disinter ing suhu dhuwur, banjur dimesin lan dipoles kanthi presisi, suku cadang keramik iki bisa nyukupi syarat ketat peralatan semikonduktor kanthi fitur tahan aus, tahan korosi, ekspansi termal sing endhek, lan insulasi. Keramik bisa digunakake ing macem-macem jinis peralatan produksi semikonduktor kanthi kondisi suhu dhuwur, vakum utawa gas korosif sajrone wektu sing suwe.
Digawé saka bubuk alumina kanthi kemurnian dhuwur, diproses kanthi pengepresan isostatik adhem, sintering suhu dhuwur lan finishing presisi, bisa tekan toleransi dimensi nganti ±0,001 mm, permukaan Ra 0,1, tahan suhu 1600 ℃.
-
Cincin Gerinda Keramik Alumina sing Didukung Logam kanggo Aplikasi Lapping Kekakuan Tinggi
Cincin penggiling alumina berbasis logam St.Cera nggabungake lapisan aus keramik alumina kemurnian tinggi (99,8% Al₂O₃) kanthi lapisan logam sing diolah kanthi presisi (biasane aluminium utawa baja tahan karat). Desain hibrida iki nyedhiyakake ketahanan aus sing luar biasa lan inertitas kimia keramik ing permukaan penggilingan, dene basis logam nambah kekuatan mekanik, pemasangan sing gampang, lan tahan patah rapuh. Lapisan alumina nawakake kekuatan lentur 361 MPa, kekerasan Vickers 16 GPa, lan stabilitas termal nganti 800°C. Basis logam disesuaikan karo bolongan pemasangan, pin lokasi, utawa sifat magnetik kanggo integrasi menyang mesin lapping, penggiling planet, lan peralatan CMP.
-
Suku Cadang Keramik kanggo Peralatan Stasiun Probe Semikonduktor
Diwangun kanthi cara dipres isostatik adhem lan disinter ing suhu dhuwur, banjur dimesin lan dipoles kanthi presisi, suku cadang keramik iki bisa nyukupi syarat ketat peralatan semikonduktor kanthi fitur tahan aus, tahan korosi, ekspansi termal sing endhek, lan insulasi. Keramik bisa digunakake ing macem-macem jinis peralatan produksi semikonduktor kanthi kondisi suhu dhuwur, vakum utawa gas korosif sajrone wektu sing suwe.
Digawé saka bubuk alumina kanthi kemurnian dhuwur, diproses kanthi pengepresan isostatik adhem, sintering suhu dhuwur lan finishing presisi, bisa tekan toleransi dimensi nganti ±0,001 mm, permukaan Ra 0,1, tahan suhu 1600 ℃.
-
Pangolahan Khusus Chuck Wafer Keramik Al2O3
Diwangun kanthi cara dipres isostatik adhem lan disinter ing suhu dhuwur, banjur dimesin lan dipoles kanthi presisi, suku cadang keramik iki bisa nyukupi syarat ketat peralatan semikonduktor kanthi fitur tahan aus, tahan korosi, ekspansi termal sing endhek, lan insulasi. Keramik bisa digunakake ing macem-macem jinis peralatan produksi semikonduktor kanthi kondisi suhu dhuwur, vakum utawa gas korosif sajrone wektu sing suwe.
Digawé saka bubuk alumina kanthi kemurnian dhuwur, diproses kanthi pengepresan isostatik adhem, sintering suhu dhuwur lan finishing presisi, bisa tekan toleransi dimensi nganti ±0,001 mm, permukaan Ra 0,1, tahan suhu 1600 ℃.
-
Pelat Keramik Peralatan Semikonduktor Khusus ST.CERA
Diwangun kanthi cara dipres isostatik adhem lan disinter ing suhu dhuwur, banjur dimesin lan dipoles kanthi presisi, suku cadang keramik iki bisa nyukupi syarat ketat peralatan semikonduktor kanthi fitur tahan aus, tahan korosi, ekspansi termal sing endhek, lan insulasi. Keramik bisa digunakake ing macem-macem jinis peralatan produksi semikonduktor kanthi kondisi suhu dhuwur, vakum utawa gas korosif sajrone wektu sing suwe.
Digawé saka bubuk alumina kanthi kemurnian dhuwur, diproses kanthi pengepresan isostatik adhem, sintering suhu dhuwur lan finishing presisi, bisa tekan toleransi dimensi nganti ±0,001 mm, permukaan Ra 0,1, tahan suhu 1600 ℃.
-
Chuck Vakum Alumina 12-Inci kanggo Pangolahan Wafer 300mm
Chuck vakum 12 inci saka St.Cera digawe kanthi presisi saka alumina kemurnian tinggi 99,8% (Al₂O₃) kanggo penanganan wafer 300mm. Chuck iki nduweni permukaan beralur alus (jembar alur 0,5–1,0 mm, pitch 2–3 mm) kanggo njamin distribusi vakum sing seragam ing kabeh diameter 300mm. Kerataan dijaga ing jarak 5 μm, saengga bisa fiksasi wafer tanpa warp sajrone dicing, grinding sisih mburi, lan inspeksi. Kekuatan lentur bahan sing dhuwur (361 MPa) lan kekerasan (16 GPa) njamin stabilitas dimensi jangka panjang sanajan ing siklus vakum sing bola-bali.
-
Efektor Ujung Keramik Alumina kanthi Saluran Vakum Terpadu
Efektor ujung vakum alumina St.Cera nggabungake saluran vakum sing diolah kanthi presisi lan bolongan isap langsung menyang awak alumina kemurnian tinggi 99,8%. Desain iki ngilangi bantalan vakum eksternal, saengga bisa njupuk wafer langsung kanthi gaya penahan sing seragam. Kekuatan lentur sing dhuwur (361 MPa) lan kekerasan (16 GPa) saka bahan kasebut njamin stabilitas dimensi jangka panjang ing siklus vakum sing bola-bali. Kerataan ing area bantalan dijaga ing kisaran 10 μm, nyegah stres lan kerusakan wafer. Port vakum dumunung ing flens pemasangan mburi kanggo integrasi sing gampang karo lengen robot OEM.
-
Bagian Keramik Alumina sing Aman kanggo ESD kanggo Penanganan Wafer sing Sensitif Statis
Bagian keramik alumina sing aman kanggo ESD (electrostatic discharge) saka St.Cera digawe saka Al₂O₃ kanthi kemurnian dhuwur 99,8% kanthi resistivitas permukaan sing disesuaikan 10⁶–10⁹ Ω/sq, sing digayuh liwat proses doping utawa pelapisan sing dipatenake. Bagian-bagian kasebut kanthi efektif nyerap muatan statis, nyegah kerusakan elektrostatik ing wafer lan piranti semikonduktor sing sensitif. Bahan dasar njaga kekuatan lentur sing dhuwur (361 MPa), kekerasan (16 GPa), lan kekuatan dielektrik (15×10⁶ V/m). Bagian keramik sing aman kanggo ESD kalebu efektor ujung, pin pengangkat, rel panduan, lan perlengkapan khusus kanggo otomatisasi FAB.
