Chuck Vakum Alumina 12-Inci kanggo Pangolahan Wafer 300mm
Chuck vakum 12 inci saka St.Cera digawe kanthi presisi saka alumina kemurnian tinggi 99,8% (Al₂O₃) kanggo penanganan wafer 300mm. Chuck iki nduweni permukaan beralur alus (jembar alur 0,5–1,0 mm, pitch 2–3 mm) kanggo njamin distribusi vakum sing seragam ing kabeh diameter 300mm. Kerataan dijaga ing jarak 5 μm, saengga bisa fiksasi wafer tanpa warp sajrone dicing, grinding sisih mburi, lan inspeksi. Kekuatan lentur bahan sing dhuwur (361 MPa) lan kekerasan (16 GPa) njamin stabilitas dimensi jangka panjang sanajan ing siklus vakum sing bola-bali.
Spesifikasi (adhedhasar 99,8% Al₂O₃):
| Properti | Nilai |
| Diameter | 300 mm (12 inci) |
| Bahan | 99,8% Alumina (Gading) |
| Kapadhetan | 3,93 g/cm³ |
| Kekuwatan Fleksibel | 361 MPa |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Kerataan (luwih saka 300mm) | ≤5 μm |
| Jembar Alur | 0,5–1,0 mm |
| Suhu Operasi Maks. | 800°C |
| Kekuwatan Dielektrik | 15×10⁶ V/m |
Aplikasi:
Ngethok lan ngethok wafer 300mm
Grinding sisih mburi wafer (dhukungan wafer tipis)
Inspeksi lan probing optik
Chuck pengikat/penghapus ikatan sementara
Manufaktur:
Digiling nganggo CNC lan di-lap nganti rata, dialur nganggo roda berlian, diresiki kanthi ultrasonik, lan dikemas ing cleanroom Kelas 100. Saben chuck dipriksa 100% kanggo ratane (interferometer laser) lan jerone alur (profilometer).
Kauntungan:
Generasi partikel sing sithik (≤0,05 partikel/cm²)
Inert sacara kimiawi marang pelarut lan asam
Permukaan sing aman kanggo ESD (resistivitas >10¹³ Ω·cm)
Pola bolongan vakum khusus lan port sisih mburi kasedhiya.
