Efektor Ujung Keramik Alumina kanthi Saluran Vakum Terpadu
Efektor ujung vakum alumina St.Cera nggabungake saluran vakum sing diolah kanthi presisi lan bolongan isap langsung menyang awak alumina kemurnian tinggi 99,8%. Desain iki ngilangi bantalan vakum eksternal, saengga bisa njupuk wafer langsung kanthi gaya penahan sing seragam. Kekuatan lentur sing dhuwur (361 MPa) lan kekerasan (16 GPa) saka bahan kasebut njamin stabilitas dimensi jangka panjang ing siklus vakum sing bola-bali. Kerataan ing area bantalan dijaga ing kisaran 10 μm, nyegah stres lan kerusakan wafer. Port vakum dumunung ing flens pemasangan mburi kanggo integrasi sing gampang karo lengen robot OEM.
Spesifikasi(adhedhasar 99,8% Al₂O₃):
| Properti | Nilai |
| Bahan | 99,8% Alumina (Gading) |
| Kapadhetan | 3,93 g/cm³ |
| Kekuwatan Fleksibel | 361 MPa |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Modulus Young | 380 GPa |
| Ekspansi Termal | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Kerataan Bantalan | ≤10 μm |
| Jembar Saluran Vakum | 0,5–2,0 mm |
| Suhu Operasi Maks. | 800°C |
Aplikasi:
● Pengambilan vakum wafer tipis utawa bengkong
● Penanganan wafer langsung tanpa genggeman pinggir
● Transfer substrat sel surya lan LED
Manufaktur:
Alumina kosong sinter → Pengeboran CNC 5-sumbu kanggo saluran lan bolongan vakum → lapping permukaan → pembersihan ultrasonik → uji kebocoran helium. Saben efektor diuji aliran 100% kanggo keseragaman vakum.
Kauntungan:
● Ora ana bantalan vakum njaba (ngurangi sumber partikel)
● Tekanan penahan sing seragam nyegah tandha wafer
● Inert sacara kimia lan kompatibel karo kamar sing resik
