Bagian Keramik Alumina sing Aman kanggo ESD kanggo Penanganan Wafer sing Sensitif Statis
Bagian keramik alumina sing aman kanggo ESD (electrostatic discharge) saka St.Cera digawe saka Al₂O₃ kanthi kemurnian dhuwur 99,8% kanthi resistivitas permukaan sing disesuaikan 10⁶–10⁹ Ω/sq, sing digayuh liwat proses doping utawa pelapisan sing dipatenake. Bagian-bagian kasebut kanthi efektif nyerap muatan statis, nyegah kerusakan elektrostatik ing wafer lan piranti semikonduktor sing sensitif. Bahan dasar njaga kekuatan lentur sing dhuwur (361 MPa), kekerasan (16 GPa), lan kekuatan dielektrik (15×10⁶ V/m). Bagian keramik sing aman kanggo ESD kalebu efektor ujung, pin pengangkat, rel panduan, lan perlengkapan khusus kanggo otomatisasi FAB.
Spesifikasi(adhedhasar 99,8% Al₂O₃ kanthi perawatan ESD):
| Properti | Nilai |
| Bahan Dasar | 99,8% Alumina |
| Resistivitas Permukaan (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/persegi |
| Kapadhetan | 3,93 g/cm³ |
| Kekuwatan Fleksibel | 361 MPa |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Modulus Young | 380 GPa |
| Ekspansi Termal (25-1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Suhu Operasi Maks. | 800°C |
| Kekuwatan Dielektrik (massal) | 15×10⁶ V/m |
Cathetan: Resistivitas permukaan ESD ora diwenehake ing tabel properti materi sing diwenehake. Rentang ing ndhuwur minangka standar industri kanggo keramik disipatif. Hubungi kita kanggo laporan tes.
Aplikasi:
● Efektor ujung sing aman kanggo ESD kanggo transfer wafer
● Pin grounding lan perlengkapan ESD ing peralatan FAB
● Soket uji kanggo piranti sing sensitif statis
● Piranti ing kamar resik sing nduweni kontrol statis sing penting banget
Manufaktur & Kualitas:
Pangolahan alumina standar + perawatan permukaan ESD → resistivitas permukaan diukur miturut ANSI/ESD STM11.11. Saben bagean diuji 100% nganggo elektroda cincin konsentris.
Kauntungan:
● Nyegah mundhut asil sing ana gandhengane karo ESD
● Njaga kekuatan mekanik lan ketahanan kimia keramik
● Ora ana generasi partikel saka debit statis
