Cincin Segel Keramik Alumina Kemurnian Tinggi kanggo Penyegelan Ruang Suhu Tinggi
Cincin segel keramik St.Cera dirancang minangka alternatif kanggo cincin-O polimer ing lingkungan ekstrem ing ngendi elastomer rusak. Diprodhuksi saka alumina kemurnian tinggi 99,8% (Al₂O₃), cincin segel kaku iki digunakake ing aplikasi segel statis — biasane dipasangake karo logam alus utawa gasket grafit — kanggo nyedhiyakake penahanan vakum utawa gas sing dipercaya ing suhu nganti 800°C lan ing lingkungan plasma utawa kimia sing agresif. Bahan kasebut nawakake nol outgassing, kekuatan kompresi dhuwur (kekuatan lentur sing ndasari 361 MPa), lan inertness kimia (tahan halogen, asam, lan alkali kajaba HF). Permukaan segel sing dilapisi presisi (kerataan ≤5 μm, kekasaran permukaan Ra ≤0,2 μm) njamin kontak kedap bocor karo komponen logam utawa keramik sing kawin.
Spesifikasi(adhedhasar 99,8% Al₂O₃):
| Properti | Nilai |
| Bahan | 99,8% Alumina (Gading) |
| Kapadhetan | 3,93 g/cm³ |
| Penyerapan Banyu | 0% |
| Kekuwatan Fleksibel | 361 MPa |
| Kekuwatan Kompresi (kira-kira) | >2000 MPa |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Ekspansi Termal (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Suhu Operasi Maks. | 800°C (udara), 1600°C (inert) |
| Lapisan Permukaan (lapisan permukaan) | Ra ≤0,2 μm (dilipat) |
| Kerataan (saben 25 mm) | ≤5 μm |
| Tingkat Kebocoran Helium | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (nganggo gasket sing cocog) |
Aplikasi:
- · Segel statis ruang proses semikonduktor (CVD, PVD, etch)
- · Segel lawang tungku suhu dhuwur
- · Flensa umpan vakum
- · Penutupan wadhah reaktor kimia
Proses Manufaktur:
Pengepresan isostatik → sintering ing suhu 1600°C → lapping sisih ganda sing presisi kanggo entuk permukaan segel sing rata lan mulus → chamfering pinggiran → pembersihan ultrasonik. Saben cincin diuji bocor 100% ing detektor kebocoran helium nganggo gasket logam standar.
Kontrol Kualitas:
- · Pamriksaan dimensi CMM (ID, OD, kekandelan, paralelisme)
- · Profilometer permukaan kanggo Ra lan kegelombang
- · Pangukuran kerataan nggunakake kerataan optik
- · Tes kebocoran helium (metode tekanan balik)
Kauntungan tinimbang O-ring Polimer:
- · Tahan 800°C vs. <300°C kanggo FFKM
- · Ora ana gas sing metu — ora ana kontaminasi lingkungan vakum
- · Tahan marang kabeh kimia plasma (fluorin, klorin, oksigen)
- · Ora ana kompresi sing disetel utawa deformasi permanen
- · Umur layanan tanpa wates ing lingkungan sing resik
Watesan (Cathetan Kritis):
- · Dudu O-ring— iki minangka cincin keramik kaku sing mbutuhake gasket alus (tembaga, aluminium, utawa grafit) kanggo nutup.
- · Ora nampung gerakan dinamis utawa ketidaksejajaran flens gedhe.
- · Biaya awal luwih dhuwur tinimbang O-ring polimer, nanging umur sing luwih dawa nyuda biaya kepemilikan.
- · Rapuh — tangani kanthi ati-ati; aja nganti kena benturan utawa tekanan lentur.
Cathetan:Data ing ndhuwur iki pancen ngetutake tabel properti Al₂O₃ sing diwenehake. Ora ana data kanggo bahan elastomer sing diwenehake. Produk iki minangka cincin segel statis, dudu cincin-O elastomer. Mangga konfirmasi manawa iki memenuhi syarat aplikasi sampeyan.
