Cincin Fokus Kamar Alumina Kemurnian Tinggi kanggo Sistem Etsa Plasma & CVD

Cincin fokus ruang St.Cera minangka komponen kit proses kritis sing digunakake ing peralatan semikonduktor etsa plasma, CVD, lan PVD. Diprodhuksi saka alumina kemurnian tinggi 99,8% (Al₂O₃), cincin kasebut ngubengi pinggiran wafer kanggo mbatesi plasma lan ngoptimalake distribusi sudut ion, saengga ningkatake keseragaman etsa ing permukaan wafer. Bahan kasebut nawakake resistensi plasma sing luar biasa, kekuatan dielektrik sing dhuwur (15 × 10⁶ V/m), lan stabilitas termal nganti 1600 °C, njamin keandalan jangka panjang ing lingkungan plasma berbasis fluor utawa klorin sing agresif. ID/OD lan kerataan presisi (≤10 μm) ngaktifake posisi pinggiran wafer sing akurat, nyuda cacat pinggiran lan generasi partikel.

Spesifikasi(adhedhasar 99,8% Al₂O₃):

Aplikasi:

• · Cincin fokus ruang etsa dielektrik (etsa oksida, nitrida)
• · Cincin pinggiran ruang etsa silikon
• · Cincin kit proses ruang CVD
• · Pelindung ruang PVD lan cincin penjepit

Proses Manufaktur:

Bubuk alumina kemurnian tinggi dipres secara isostatik → mesin ijo nganti meh kaya bentuk bersih → disinter ing suhu 1600°C → Penggilingan berlian CNC kanthi ID, OD, lan kekandelan → lapping kanggo entuk kerataan ≤10 μm → pembersihan ultrasonik → inspeksi CMM 100%. Lapisan permukaan Ra ≤0,4 μm nyuda adhesi partikel.

Kontrol Kualitas:

• · Inspeksi dimensi 100% (ID, OD, kekandelan, paralelisme)
• · Uji penetrasi pewarna kanggo retakan mikro (retakan ora diidini)
• · Inspeksi visual ing mikroskop 20× — ora ana pecahan, rongga, utawa perubahan warna
• · Tes kekuatan dielektrik miturut ASTM D149 (sampling)

Kauntungan tinimbang Cincin Fokus Silikon utawa Kuarsa:

• · Umur 5–10× luwih dawa ing plasma fluorokarbon
• · Ora ana partikel erosi sing bisa dikonsumsi sing bakal ngrusak wafer
• · Kekuwatan dielektrik sing luwih dhuwur nyegah lengkungan
• · Njaga kerataan lan akurasi dimensi sajrone ewonan jam RF

Bahan Alternatif — Zirkonia sing Distabilisasi Yttria (ZrO₂):

Kanggo aplikasi sing mbutuhake ketangguhan patah sing luwih dhuwur (kayata, ruang kanthi siklus termal sing kerep utawa kejut mekanik), cincin fokus ZrO₂ (kapadhetan 6,03 g/cm³, kekuatan lentur 1000 MPa, ketangguhan patah 5–8 MPa·m¹/²) kasedhiya. Nanging, alumina nawakake efektifitas biaya sing luwih apik lan minangka standar industri kanggo umume aplikasi cincin fokus.

Kustomisasi:

• · Profil undhak-undhakan, bolongan counter, utawa bolongan pemasangan saben gambar pelanggan
• · Lapisan Y₂O₃ kanggo ningkatake resistensi erosi plasma (kekandelan 20–100 μm)
• · Tandha laser kanggo nomer bagean, kode tanggal, utawa tandha perataan

Cathetan:Kabeh data kanthi ketat ngetutake tabel properti Al₂O₃ sing diwenehake. Kanggo spesifikasi ZrO₂, deleng lembar data zirkonia sing diwenehake. Desain cincin fokus bisa uga mbutuhake ijin paten — pelanggan tanggung jawab kanggo verifikasi hak kekayaan intelektual.