Efektor Ujung Keramik Dilapisi Teflon – Permukaan Anti Lengket kanggo Penanganan Wafer Sensitif
Efektor ujung keramik sing dilapisi Teflon (PTFE) St.Cera nggabungake substrat alumina kekuatan tinggi karo lapisan PTFE sing seragam lan gesekan rendah (ketebalan 15–30 μm). Lapisan kasebut nyedhiyakake koefisien gesekan sing sithik banget (≤0,1), tahan kimia sing apik banget, lan sifat anti lengket, nyegah adhesi wafer lan ngilangi kontaminasi sisih mburi. Substrat keramik sing ndasari (99,8% Al₂O₃) nawakake kekuatan lentur sing dhuwur (361–1000 MPa), tahan aus, lan stabilitas termal nganti 260°C (watesan lapisan). Efektor ujung iki cocog kanggo nangani wafer sing alus, tipis, utawa lengket (contone, sawise lapisan photoresist utawa proses kimia).
Spesifikasi (adhedhasar substrat 99,8% Al₂O₃ nganggo lapisan PTFE):
| Properti | Nilai |
| Bahan Substrat | 99,8% Alumina (Gading) |
| Bahan Pelapis | PTFE (Teflon) |
| Kekandelan Lapisan | 15–30 μm |
| Koefisien Gesekan (Dilapisi) | ≤0.1 |
| Kekuatan Lentur Substrat (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Kekerasan Substrat (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Kapadhetan Substrat | 3,93 g/cm³ |
| Suhu Operasi Maks. (watesan lapisan) | 260°C |
| Kekasaran Permukaan (sadurunge dilapisi) | Ra ≤0,4 μm |
| Kekuwatan Dielektrik (substrat) | 15×10⁶ V/m |
Cathetan: Lapisan PTFE mbatesi suhu maksimum nganti 260°C; kanggo aplikasi suhu sing luwih dhuwur, cobanen keramik sing ora dilapisi utawa lapisan liyane.
Aplikasi:
- · Nangani wafer sawise dilapisi photoresist (permukaan lengket)
- · Transfer wafer tipis utawa rapuh (nyegah lengket)
- · Piranti inspeksi lan metrologi semikonduktor
- · Otomatisasi kamar resik ing ngendi kontaminasi partikel kudu diminimalake
Proses Manufaktur:
Substrat keramik disinter lan digiling kanthi presisi → pengasaran permukaan (etsa plasma utawa ledakan grit) → lapisan semprotan PTFE → perawatan panas ing 380°C → inspeksi pungkasan. Saben efektor ujung dicek kekandelan lapisan (arus eddy), adhesi (uji potong silang ASTM D3359), lan koefisien gesekan.
Kontrol Kualitas:
Inspeksi visual 100% kanggo bolongan cilik utawa gelembung; keseragaman kekandelan lapisan ing ±5 μm; ora ana delaminasi sawise uji lengkungan 90° ing kupon saksi. Pamriksaan dimensi miturut toleransi OEM (dawa ±0,05 mm, kerataan ≤0,1 mm).
Kauntungan tinimbang Lapisan Tanpa Lapisan utawa Lapisan Liyane:
- · Permukaan anti lengket nyegah adhesi wafer lan kerusakan
- · Koefisien gesekan paling endhek ing antarane lapisan keramik
- · Tahan banget marang bahan kimia (asam, basa, pelarut)
- · Nyuda generasi partikel kanthi nyegah transfer materi
Watesan (catetan babagan penyimpangan materi):
Lapisan PTFE ora dijupuk saka tabel properti materi sing diwenehake (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Sifat substrat kasebut kanthi ketat ngetutake lembar data sing diwenehake (99,8% Al₂O₃). Sifat lapisan adhedhasar spesifikasi PTFE standar industri, amarga ora ana data lapisan sing diwenehake. Kanggo aplikasi sing ngluwihi 260°C, efektor ujung keramik sing ora dilapisi disaranake.*
Kustomisasi:
Kasedhiya ing dawa 150–1500 mm, wujud pucuk (genggeman pinggir, Bernoulli, rata), pola flens pemasangan miturut gambar OEM. Lapisan sebagian (mung area kontak) utawa jangkoan lengkap opsional.
Nyuwun conto kanggo uji adhesi lan gesekan.
