Efektor Ujung Keramik Silikon Karbida (SiC) – Kekakuan Tinggi kanggo Penanganan Wafer Suhu Tinggi
Efektor ujung keramik SiC St.Cera digawe saka silikon karbida kemurnian tinggi (kandungan SiC 99,72%, Si bebas 0,05%) nggunakake bahan batch S1111. Efektor iki nawakake sifat mekanik sing luar biasa: kekuatan lentur 449 MPa (diukur), modulus elastis 457 GPa (diukur), lan kekerasan Vickers 25–28 GPa (khas). Kapadhetan sing endhek (3,10–3,15 g/cm³, khas) nyedhiyakake kekakuan spesifik sing dhuwur, cocog kanggo robot transfer wafer kecepatan tinggi. Kanthi konduktivitas termal 120–150 W/m·K (khas) lan koefisien ekspansi termal 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (khas), efektor ujung iki kanthi efektif mbuwang panas lan njaga stabilitas dimensi sajrone penanganan suhu tinggi (nganti 1600–1700°C, tanpa beban). Werna ireng/abu-abu lan penyerapan banyu nol njamin kompatibilitas kamar bersih.
Spesifikasi(adhedhasar laporan uji SiC S1111 sing diwenehake & nilai khas):
| Properti | Nilai |
| Bahan | SiC (99,72% SiC, 0,05% Si Bebas) |
| Werna | Ireng/Abu-abu |
| Kapadhetan | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Penyerapan Banyu | 0% |
| Kekuwatan Fleksibel | 449 MPa (rata-rata) |
| Ketangguhan Patah | 3.12 MPa·m¹/² (rata-rata) |
| Modulus Elastis | 457 GPa |
| Kekerasan Vickers | 25–28 GPa |
| Konduktivitas Termal (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Suhu Panggunaan Maks. (tanpa beban) | 1600–1700°C |
Aplikasi:
● Penanganan wafer suhu dhuwur (pasca-anil, RTP, epitaksi)
● Kamar etsa plasma sing mbutuhake tahan erosi sing dhuwur
● Robot transfer kecepatan tinggi (ringan, kaku)
Manufaktur:
Sintering bubuk SiC → penggilingan CNC presisi profil lengen lan fitur pemasangan → lapping permukaan → pembersihan ultrasonik. Inspeksi dimensi 100% lan uji kebocoran helium kanggo aplikasi vakum.
Kontrol Kualitas:
● Inspeksi CMM babagan dawa, jembar, lan kerataan
● Tes kekuatan lentur saben batch (miturut standar laporan tes)
● Inspeksi visual ing mikroskop kanggo cacat permukaan
Kauntungan tinimbang Alumina utawa Logam:
● Modulus elastis 2× luwih dhuwur (457 vs ~380 GPa kanggo alumina) – defleksi luwih sithik
● Konduktivitas termal 3× luwih dhuwur – pembuangan panas luwih cepet
● Tahan suhu >1600°C dibandhingake karo alumina 800°C ing udhara
● Kapadhetan luwih endhek tinimbang baja – bobote luwih murah 40%
Kustomisasi:
Dawane 150–450 mm, bentuk pucuk (genggeman pinggir, Bernoulli, rata), pola flens pemasangan miturut gambar OEM.
*Kabeh data mekanik ing ndhuwur asale saka laporan uji sing diwenehake (batch S1111). Nilai termal lan kekerasan iku khas kanggo kelas SiC iki; hubungi kita kanggo sertifikasi khusus lot.*
