-
Lengan Robot Keramik Alumina Kemurnian Tinggi kanggo Penanganan Wafer
Lengen robot keramik alumina St.Cera dirancang kanthi presisi saka 99,8% Al₂O₃ (alumina) kanthi kemurnian dhuwur. Lengen iki nggabungake kekuatan lentur sing luar biasa (361 MPa), kekerasan sing dhuwur (16 GPa), lan kapadhetan sing endhek (3,93 g/cm³), sing ngasilake lengen sing entheng nanging kaku kanggo transfer wafer semikonduktor. Koefisien ekspansi termal bahan (7,2 × 10⁻⁶/°C) cocog banget karo silikon, saengga minimalake ketidakcocokan termal sajrone proses.
-
Efektor Ujung Keramik Bernoulli — Penanganan Wafer Non-Kontak kanggo Wafer Tipis & Rapuh
Efektor ujung keramik Bernoulli saka St.Cera nggunakake daya angkat aerodinamis kanggo nangani wafer tanpa kontak fisik. Diprodhuksi saka alumina (Al₂O₃) utawa silikon karbida (SiC) 99,8% kemurnian tinggi, nduweni nozzle mesin presisi sing ngetokake gas bertekanan kanggo nggawe film udara tipis antarane efektor ujung lan wafer. Prinsip non-kontak iki ngilangi kontaminasi sisih mburi, potongan pinggiran, lan kerusakan permukaan, saengga cocog kanggo wafer tipis (≤100 μm), rapuh, utawa bengkok. Substrat keramik nyedhiyakake kekuatan lentur sing dhuwur (361 MPa kanggo Al₂O₃; nganti 550–600 MPa kanggo SiC), massa sing endhek, lan stabilitas dimensi sing apik banget, njamin posisi sing bisa diulang ing robot transfer wafer kecepatan tinggi.
-
Efektor Ujung Keramik Dilapisi Teflon – Permukaan Anti Lengket kanggo Penanganan Wafer Sensitif
Efektor ujung keramik sing dilapisi Teflon (PTFE) St.Cera nggabungake substrat alumina kekuatan tinggi karo lapisan PTFE sing seragam lan gesekan rendah (ketebalan 15–30 μm). Lapisan kasebut nyedhiyakake koefisien gesekan sing sithik banget (≤0,1), tahan kimia sing apik banget, lan sifat anti lengket, nyegah adhesi wafer lan ngilangi kontaminasi sisih mburi. Substrat keramik sing ndasari (99,8% Al₂O₃) nawakake kekuatan lentur sing dhuwur (361–1000 MPa), tahan aus, lan stabilitas termal nganti 260°C (watesan lapisan). Efektor ujung iki cocog kanggo nangani wafer sing alus, tipis, utawa lengket (contone, sawise lapisan photoresist utawa proses kimia).
