Lengan Robot Keramik Alumina Kemurnian Tinggi kanggo Penanganan Wafer
Lengen robot keramik alumina St.Cera dirancang kanthi presisi saka 99,8% Al₂O₃ (alumina) kanthi kemurnian dhuwur. Lengen iki nggabungake kekuatan lentur sing luar biasa (361 MPa), kekerasan sing dhuwur (16 GPa), lan kapadhetan sing endhek (3,93 g/cm³), sing ngasilake lengen sing entheng nanging kaku kanggo transfer wafer semikonduktor. Koefisien ekspansi termal bahan (7,2 × 10⁻⁶/°C) cocog banget karo silikon, saengga minimalake ketidakcocokan termal sajrone proses.
Spesifikasi (adhedhasar 99,8% Al₂O₃):
| Properti | Nilai |
| Werna | Gading |
| Kapadhetan | 3,93 g/cm³ |
| Kekuwatan Fleksibel | 361 MPa |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Modulus Young | 380 GPa |
| Konduktivitas Termal | 32 W/m·k |
| Ekspansi Termal | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Kekuwatan Dielektrik | 15×10⁶ V/m |
Aplikasi:
- Robot transfer wafer vakum (200mm/300mm)
- Sistem penanganan atmosfer
- Lengan efektor ujung kanggo otomatisasi FAB
Proses Manufaktur:
Pengepresan isostatik → mesin ijo → sintering ing 1600°C → Penggilingan presisi CNC → pembersihan ultrasonik → Kemasan kamar bersih Kelas 100. Saben lengen dipriksa 100% dening CMM kanggo kerataan (±0,01 mm) lan kekasaran permukaan (Ra ≤0,4 μm).
Kontrol Kualitas:
St.Cera nduweni sertifikasi ISO 9001:2015. Kita nindakake uji penetrasi pewarna kanggo mikro-retakan, lentur telung titik kanggo kekuatan lentur, lan uji kekuatan dielektrik miturut ASTM D149.
Kauntungan tinimbang Lengen Logam:
- 50% luwih entheng tinimbang baja tahan karat
- Ora ana korosi galvanik
- Generasi partikel sing luwih murah (≤0,05 partikel/cm²)
- Lapisan aman ESD kasedhiya (10⁶–10⁹ Ω/sq)
Kustomisasi:
Dawane saka 150mm nganti 450mm, bentuk pucuk (genggeman pinggir, Bernoulli, vakum), lan pola flens pemasangan miturut gambar OEM. Prototipe sajrone 2 minggu.
Kanggo pesenan akeh, mangga njaluk penawaran rega.
