Efektor Ujung Keramik Alumina Kemurnian Tinggi kanggo Robot Penanganan Wafer
Efektor ujung keramik alumina St.Cera digawe kanthi presisi saka Al₂O₃ kanthi kemurnian tinggi 99,8% nggunakake peralatan penggilingan CNC 5-sumbu canggih. Kapabilitas manufaktur kita kalebu mesin penggiling presisi lan pusat pemesinan CNC, sing ngidini geometri kompleks kanthi presisi dhuwur. Efektor ujung nduweni profil tipis (sethithik 1,5 mm) kanthi pinggiran utama sing meruncing kanggo penyisipan wafer sing alus. Bahan kasebut nyedhiyakake kekakuan sing dhuwur (modulus Young 380 GPa), tahan aus sing apik banget, lan stabilitas termal nganti 800°C. Saben unit digiling kanthi presisi kanggo entuk kerataan 0,003mm, paralelisme 0,002mm, lan permukaan Ra0.1, njamin kontak wafer sing konsisten lan operasi bebas partikel ing lingkungan FAB semikonduktor. Kasedhiya ing dawa saka 150 mm nganti 450 mm, kanthi geometri ujung khusus (pegangan pinggiran, Bernoulli, rata) lan flensa pemasangan sing cocog karo robot OEM. Pilihan polesan permukaan kalebu lapisan lapped, polesan, utawa lapisan disipatif ESD (10⁶–10⁹ Ω/sq).
Spesifikasi (adhedhasar 99,8% Al₂O₃& kemampuan manufaktur St.Cera):
| Properti | Nilai |
| Bahan | 99,8% Alumina (Gading) |
| Kapadhetan | 3,93 g/cm³ |
| Kekuwatan Fleksibel | 361 MPa |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Modulus Young | 380 GPa |
| Kerataan | 0,003mm |
| Paralelisme | 0,002mm |
| Rampungan Permukaan | Ra0.1 (dilapisi/dipoles) |
| Suhu Operasi Maks. | 800°C |
| Rentang Dawane | 150–450 mm |
Aplikasi:
- · Transfer wafer ing robot vakum lan atmosfer
- · Efektor ujung otomatisasi FAB kanggo wafer 200mm/300mm
- · Penanganan wafer tipis (kanthi pilihan ESD)
Kapabilitas Manufaktur:
Mesin gerinda presisi lan pusat mesin CNC kita nggampangake produksi komponen keramik sing kompleks kanthi:
- · Dawane mesin maksimal: 1500mm
- · Diameter njaba maksimal: 600mm
- · Diameter njero minimal: 0.2mm
- · Kekandelan maksimal: 100mm
Kontrol Kualitas:
Kelurusan 0,005mm, tegak lurus 0,005mm, bulat 0,002mm, paralelisme 0,002mm, konsentrisitas 0,01mm diverifikasi dening CMM. Saben unit diresiki kanthi ultrasonik lan dikemas kanthi cleanroom Kelas 100.
