Chuck Vakum Alumina kanggo Dadu & Gerinda Presisi
Chuck vakum alumina St.Cera digawe saka Al₂O₃ kanthi kemurnian dhuwur 99,8% kanthi alur vakum mesin presisi. Kapabilitas penggilingan presisi kita entuk kerataan 0,003mm lan paralelisme 0,002mm, njamin fiksasi wafer tanpa warp sajrone dicing, penggilingan sisih mburi, lan inspeksi. Bahan kasebut nawakake kekuatan lentur sing dhuwur (361 MPa), kekerasan (16 GPa), lan stabilitas termal nganti 800°C. Kasedhiya ing format bunder nganti diameter njaba (OD) 600mm lan bentuk persegi panjang nganti dawa 1500mm. Alur vakum dirancang khusus (pola konsentris, radial, utawa kisi) kanggo cocog karo syarat proses tartamtu. Saben chuck dipriksa nganggo interferometer laser lan diwenehake laporan verifikasi kerataan.
Spesifikasi (adhedhasar 99,8% Al₂O₃& kemampuan manufaktur St.Cera):
| Properti | Nilai |
| Bahan | 99,8% Alumina (Gading) |
| Kapadhetan | 3,93 g/cm³ |
| Kekuwatan Fleksibel | 361 MPa |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Diameter njaba (maks) | 600mm |
| Kekandelan (maks) | 100mm |
| Dawane (maks) | 1500mm |
| Kerataan | 0,003mm |
| Paralelisme | 0,002mm |
| Rampungan Permukaan | Ra0.1 |
| Suhu Operasi Maks. | 800°C |
Aplikasi:
- · Nglereni lan ngukir wafer (200mm/300mm lan luwih gedhe)
- · Panggilingan wafer tipis ing sisih mburi
- · Inspeksi lan probing optik
- · Penanganan substrat gedhe
Presisi Manufaktur:
- · Kelurusan: 0,005mm
- · Tegak lurus: 0,005mm
- · Kebunderan: 0,002mm
- · Konsentrisitas: 0,01mm
