Chuck Vakum Standar Berbasis Alumina – Kekakuan Tinggi kanggo Mesin Presisi
Chuck vakum berbasis alumina iki digawe saka 99,8% Al₂O₃, sing nawakake permukaan sing alus lan ora keropos kanthi pola alur vakum khusus. Chuck iki nyedhiyakake kekakuan sing luar biasa (modulus Young 380 GPa) lan kerataan (≤3 μm), saengga cocog kanggo nggiling, ngethok, lan ngethok wafer semikonduktor lan komponen optik kanthi presisi. Konduktivitas termal bahan sing dhuwur (32 W/m·k) njamin keseragaman suhu sajrone proses.
Spesifikasi(adhedhasar 99,8% Al₂O₃):
| Properti | Nilai |
| Bahan | 99,8% Alumina (Gading) |
| Kapadhetan | 3,93 g/cm³ |
| Kekuwatan Fleksibel | 361 MPa |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Modulus Young | 380 GPa |
| Konduktivitas Termal | 32 W/m·k |
| Kerataan | ≤3 μm (luwih saka 200mm) |
| Kekasaran Permukaan (sisi chuck) | Ra ≤0,4 μm |
| Suhu Operasi Maks. | 800°C |
Aplikasi:
- · Gilingan wafer sisih mburi (kasar lan alus)
- · Pemotong bahan rapuh kanthi presisi
- · Nglereni substrat keramik
- · Poles lensa optik
Manufaktur:
Pemotongan presisi loro-lorone → alur berlian (opsional) → pembulatan pinggiran → pembersihan ultrasonik → inspeksi kerataan 100% nganggo interferometer laser.
Akauntungan:
- · Dhukungan kaku nyuda defleksi nalika ana beban
- · Ora ana generasi partikel saka struktur berpori
- · Gampang diresiki (kompatibel karo pelarut)
- · Alur vakum sing bisa disesuaikan (konsentris, radial, pola khusus)
Ukuran sing kasedhiya:
Bunder: 100mm, 150mm, 200mm, 300mm; kothak/persegi panjang miturut panyuwunan.
Kita uga nawakake versi berbasis logam kanggo kekuatan mekanik sing luwih dhuwur.
