Inti Keramik Alumina Kemurnian Tinggi kanggo Perlengkapan Semikonduktor
Inti keramik alumina St.Cera digawe kanthi presisi saka 99,8% Al₂O₃ kanthi kemurnian dhuwur, sing nawakake kekuatan dielektrik sing luar biasa (15 × 10⁶ V/m), stabilitas termal nganti 1600 °C, lan tahan mulur nalika beban. Inti iki digunakake minangka komponen struktural ing perlengkapan proses suhu dhuwur, basis pemanas, lapisan ruang plasma, lan insulator listrik. Kekerasan bahan sing dhuwur (16 GPa) lan panyerepan banyu sing sithik (0%) njamin keandalan jangka panjang ing lingkungan sing atos.
Spesifikasi(adhedhasar 99,8% Al₂O₃):
| Properti | Nilai |
| Bahan | 99,8% Alumina (Gading) |
| Kapadhetan | 3,93 g/cm³ |
| Kekuwatan Fleksibel | 361 MPa |
| Ketangguhan Patah | 3–4 MPa·m¹/² |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Modulus Young | 380 GPa |
| Konduktivitas Termal | 32 W/m·k |
| Ekspansi Termal (25-1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Kekuwatan Dielektrik | 15×10⁶ V/m |
| Resistensi Spesifik | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Suhu Operasi Maks. | 1600°C |
Aplikasi:
- · Inti pemanas kanggo reaktor epitaksial
- · Lapisan lan pelat penutup ruang plasma
- · Isolator listrik tegangan dhuwur
- · Basis perlengkapan kanggo robot penanganan wafer
Manufaktur:
Pengepresan isostatik → mesin ijo → sintering ing 1600°C → Penggilingan CNC nganti dimensi pungkasan (toleransi ± 0,01 mm). Saben inti dipriksa nganggo CMM lan deteksi cacat ultrasonik.
Jaminan Kualitas:
Bersertifikat ISO 9001:2015. Uji penetrasi pewarna kanggo retakan permukaan; uji kekuatan dielektrik miturut ASTM D149.
Akaluwihane tinimbang keramik liyane:
- · Kekuwatan dielektrik sing luwih dhuwur tinimbang zirkonia (15 vs <10×10⁶ V/m)
- · Biaya luwih murah tinimbang SiC kanggo aplikasi non-plasma
- · Resistensi kimia sing apik banget marang halogen (kajaba HF)
Wangun Khusus:
Silinder, batang kothak, pelat, utawa geometri kompleks. Ukuran fitur minimal 0,5 mm.
Hubungi kita kanggo desain inti khusus lan dhukungan simulasi termal.
