Pin Pendukung Keramik kanggo Perlengkapan Proses Semikonduktor
Pin pendukung keramik St.Cera (uga dikenal minangka pin pengangkat utawa pin pendukung) digunakake ing ruang proses semikonduktor kanggo ngangkat wafer utawa substrat sajrone penanganan, pemanasan, utawa pendinginan. Diprodhuksi saka 99,8% alumina utawa silikon nitrida, pin iki nawakake kekuatan kompresi sing dhuwur, stabilitas termal, lan tahan kimia. Desain ujung hemisfer utawa rata nyegah goresan wafer.
Spesifikasi(Alumina 99,8%):
| Properti | Nilai |
| Bahan | 99,8% Al₂O₃ utawa Si₃N₄ |
| Dawane | 10 – 100 mm |
| Diameter | 1 – 10 mm |
| Wangun Ujung | Rata, hemisfer, lancip |
| Kekuatan Kompresi (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Suhu Operasi Maks. (Al₂O₃) | 1600°C |
| Rampungan Permukaan | Dilempit (Ra ≤0,4 μm) |
| Toleransi ing Diameter | ±0,01 mm |
Aplikasi:
Pin pengangkat ing ruang CVD/PVD
Pin penyangga kanggo manggang ing hotplate
Struktur pendukung kartu probe
Penyangga prau tungku kuarsa
Manufaktur:
Grinding tanpa tengah presisi OD → grinding berlian profil pucuk → reresik ultrasonik → inspeksi dimensi 100%.
Kontrol Kualitas:
CMM kanggo dawa/diameter, komparator optik kanggo radius pucuk, uji beban kanggo verifikasi kekuatan kompresi (sampel acak saben lot). Ora ana kontaminasi feromagnetik (diverifikasi nganggo magnet).
Kauntungan tinimbang Pin Logam utawa Kuarsa:
Umur 5x luwih dawa tinimbang baja tahan karat
Ora ana kontaminasi logam ing ruang proses
Kapabilitas suhu sing luwih dhuwur tinimbang kuarsa (1600°C vs 1100°C)
Permukaan anti lengket (adhesi partikel berkurang)
Kustomisasi:
Profil pucuk pirang-pirang, dasar ulir, utawa poros meruncing.
Kita uga nyedhiyakake pin SiC kanggo lingkungan plasma ekstrem.
