Cincin Insulasi PVD Alumina kanggo Sistem Deposisi Uap Fisik
Cincin insulasi PVD St.Cera digawe saka alumina kemurnian tinggi 99,8% (Al₂O₃) kanggo digunakake ing sistem deposisi uap fisik (PVD). Cincin kasebut nyedhiyakake isolasi listrik antarane komponen ruang, nyegah lengkungan lan njamin operasi plasma sing stabil. Sifat-sifat utama kalebu kekuatan dielektrik sing dhuwur (15 × 10⁶ V/m), resistensi spesifik >10¹⁴ Ω·mm²/m, lan stabilitas termal nganti 1600°C. Kapabilitas mesin presisi kita entuk diameter njaba nganti 600mm, diameter njero nganti 0,2mm, kerataan 0,003mm, lan permukaan Ra0.1. Porositas nol lan inertness kimia cincin njamin keandalan jangka panjang ing lingkungan sputtering sing agresif.
Spesifikasi (adhedhasar 99,8% Al₂O₃& kemampuan manufaktur St.Cera):
| Properti | Nilai |
| Bahan | 99,8% Alumina (Gading) |
| Kapadhetan | 3,93 g/cm³ |
| Kekuwatan Fleksibel | 361 MPa |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Kekuwatan Dielektrik | 15×10⁶ V/m |
| Resistensi Spesifik | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Diameter njaba maksimal | 600mm |
| Diameter Jero Minimal | 0.2mm |
| Ketebalan Maksimum | 100mm |
| Kerataan | 0,003mm |
| Paralelisme | 0,002mm |
| Rampungan Permukaan | Ra0.1 |
| Suhu Operasi Maks. | 1600°C |
Aplikasi:
- · Insulator pelat pendukung target ing sistem PVD
- · Isolator feedthrough ruang
- · Isolator cincin tameng ing sistem sputtering
- · Isolasi tegangan dhuwur ing kamar plasma
Presisi Manufaktur:
Konsentrisitas: 0,01mm, kebulatan: 0,002mm, kelurusan: 0,005mm, tegak lurus: 0,005mm, diverifikasi dening CMM.
AKauntungan saka Isolator Polimer:
- · Tahan suhu 1600°C vs watesan polimer <300°C
- · Ora ana gas sing metu - njaga integritas vakum
- · Tahan erosi plasma lan serangan kimia
Kustomisasi:
Penampang melintang khusus, fitur pemasangan, profil undhak-undhakan, lan macem-macem desain cincin konsentris kasedhiya.
