Digabungake karo kaluwihan kinerja komprehensif saka bahan substrat Al2O3 lan BeO tradisional, keramik Aluminium Nitrida (AlN), sing nduweni konduktivitas termal sing dhuwur (konduktivitas termal teoretis monokristal yaiku 275W/m▪k, konduktivitas termal teoretis polikristal yaiku 70 ~ 210W/m▪k), konstanta dielektrik sing endhek, koefisien ekspansi termal sing cocog karo silikon kristal tunggal, lan sifat insulasi listrik sing apik, minangka bahan sing ideal kanggo substrat sirkuit lan kemasan ing industri mikroelektronika. Iki uga minangka bahan penting kanggo komponen keramik struktural suhu dhuwur amarga sifat mekanik suhu dhuwur sing apik, sifat termal lan stabilitas kimia.
Kapadhetan teoretis AlN yaiku 3,26g/cm3, kekerasan MOHS yaiku 7-8, resistivitas suhu ruangan luwih gedhe tinimbang 1016Ωm, lan ekspansivitas termal yaiku 3,5 × 10-6/℃ (suhu ruangan 200℃). Keramik AlN murni ora ana warna lan transparan, nanging warnane macem-macem kaya abu-abu, putih keabu-abuan utawa kuning enom, amarga rereged.
Saliyané konduktivitas termal sing dhuwur, keramik AlN uga nduwèni kaluwihan ing ngisor iki:
1. Insulasi listrik sing apik;
2. Koefisien ekspansi termal sing padha karo silikon monokristal, luwih unggul tinimbang bahan kaya Al2O3 lan BeO;
3. Kekuwatan mekanik sing dhuwur lan kekuatan lentur sing padha karo keramik Al2O3;
4. Konstanta dielektrik sedheng lan kerugian dielektrik;
5. Dibandhingake karo BeO, konduktivitas termal keramik AlN kurang kena pengaruh suhu, utamane ing ndhuwur 200℃;
6. Tahan suhu dhuwur lan tahan korosi;
7. Ora beracun;
8. Ditrapake ing industri semikonduktor, industri metalurgi kimia lan bidang industri liyane.
Wektu kiriman: 14 Juli 2023